Resumen
ISO 25178-603:2013 describes the metrological characteristics of phase-shifting interferometric (PSI) profile and areal surface texture measuring microscopes.
Informaciones generales
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Estado: PublicadoFecha de publicación: 2013-10Etapa: Norma Internacional para revisar [90.92]
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Edición: 1Número de páginas: 28
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Comité Técnico :ISO/TC 213ICS :17.040.20
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Ciclo de vida
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Ahora
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Será reemplazada por
En desarrolloISO/FDIS 25178-603