International Standard
ISO 21360-6:2023
Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump performance — Part 6: Cryogenic vacuum pumps
Reference number
ISO 21360-6:2023
Edición 1
2023-12
© ISO 2024
International Standard
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No disponible en español
Publicado (Edición 1, 2023)

ISO 21360-6:2023

Formato
Idioma
CHF 63
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Resumen

This document specifies methods for measuring the volume flow rate, maximum throughput, pumping capacity, base pressure cryogenic vacuum pump, cooldown time and crossover value of cryogenic vacuum pumps.

It is applicable to two-stage, closed-loop gaseous helium cryogenic vacuum pumps, which can be directly flanged to a vacuum chamber.

Informaciones generales

  • Estado
     : Publicado
    Fecha de publicación
     : 2023-12
    Etapa
    : Norma Internacional publicada [60.60]
  • Edición
     : 1
    Número de páginas
     : 12
  • Comité Técnico :
    ISO/TC 112
    ICS :
    23.160 
  • RSS actualizaciones

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