Reference number
ISO 22278:2020
International Standard
ISO 22278:2020
Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Test method for crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using XRD method with parallel X-ray beam
Edition 1
2020-08
Preview
ISO 22278:2020
73015
Indisponible en français
Publiée (Edition 1, 2020)

ISO 22278:2020

ISO 22278:2020
73015
Langue
Format
CHF 151
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Résumé

This document specifies the test method for measuring the crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using the XRD method with parallel X-ray beam. This document is applicable to all of the single-crystal thin film (wafer) as bulk or epitaxial layer structure.

Informations générales

  •  : Publiée
     : 2020-08
    : Norme internationale publiée [60.60]
  •  : 1
  • ISO/TC 206
    81.060.30 
  • RSS mises à jour

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